坐标磨床加工精度可达±0.001mm，真圆度可达±0.001mm。

平面研磨加工：表面粗糙度Ra<0.05μm，Ry=0.20，加工精度可控制在1μm以内，

加工最小槽宽：0.070mm，最好清角：R≤0.02。

线切割加工：加工精度可达±0.001mm；加工公差可达±0.001mm，

光洁度可达Ra0.05，Rz0.1。

座標研磨加工精度は±0.001mm、真円度は±0.001mm

平面研磨加工：表面粗面度Ra<0.05μm，Ry=0.20、加工精度は1μm以内コントロール出来ます。

加工最小槽の幅は0.070mm、最小逃し角：R≤0.02

ワイヤー加工：加工精度は±0.001mm、加工公差は±0.001mm。

仕上げ度はRa0.05，Rz0.1。