坐标磨床加工精度可达±0.001mm，真圆度可达±0.001mm。

平面研磨加工：表面粗糙度Ra<0.05μm，Ry=0.20，加工精度可控制在1μm以内，

加工最小槽宽：0.070mm，最好清角：R≤0.02。

线切割加工：加工精度可达±0.001mm；加工公差可达±0.001mm，

光洁度可达Ra0.05，Rz0.1。