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坐标磨床加工精度可达±0.001mm,真圆度可达±0.001mm。
平面研磨加工:表面粗糙度Ra<0.05μm,Ry=0.20,加工精度可控制在1μm以内,
加工最小槽宽:0.070mm,最好清角:R≤0.02。
线切割加工:加工精度可达±0.001mm;加工公差可达±0.001mm,
光洁度可达Ra0.05,Rz0.1。