研磨是一种精密加工方法。其含义是：研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工面进行的精整加工。根据加工方法的机理和特点，最基本的加工方法可以分为： 去除加工、 结合加工和变形加工三大类。  然而，在最新的多性能复杂形态的元件加工中，往往是上述几种加工法的复合作用。

 

    微量材料去除的机械作用及化学作用设想 材料去除的最小单位是层原子的话，那么，最基本的材料去除是将表面的一层原子与内部的原子切开。 机械加工必然残留有加工变质层，加工中还伴随着化学反应等复杂现象56，材料去除的原理是从一层原子到数层原子乃至数十层原子几种状态的复合。单个磨粒的磨削模型，可以用磨粒对工件的机械作用的动作来描述，在加工中的化学反应结果对材料的去除及减小加工变质层可能是有利的。

 

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